恒益公司大口径激光平面干涉仪研制与市场化进程取得新进展

2017年8月24日恒益公司承担的《大口径激光干涉仪产品创新及工业设计开发》项目顺利通过了上海市经信委文化创意产业办公室的验收。本项目由恒益公司作为主体单位申请并联合了中国工业设计研究院、上海现代先进超精密制造中心有限公司两家集设计和先进加工技术的单位。在本项目实施过程中，三家取长补短，结合各自优势，化整为零，开展的一次跨界、跨部门和跨行业联合的创新性合作模式探索。通过该项目使得我公司大口径激光平面干涉仪产品的整体性能、工业化水平都有了大幅度的提高，通过产品logo和外观工业设计使产品的市场化定位更加明确，进一步增加了产品的市场竞争力。图1是通过本项目的支持目前本公司600mm口径干涉仪产品的外观实物照片。

 图1. 600mm大口径平面激光干涉仪外观定型照片

本公司在相关项目的推动下，2009年开始启动Φ600mm大口径激光平面干涉仪研制，多年来我们在大口径扩束器研制、全频谱空腔配修、大镜面精密支撑与吊装和环境气流控制等方面取得了一系列的技术成果与技术创新。目前公司已累计承制和销售600mm口径以上干涉仪5台。

重要的里程碑如下：

1. 2009年开始启动600mm大口径激光平面干涉仪方案设计，2010年正式实施。

2. 2013年，600mm大口径激光平面干涉仪的各项技术指标均达到了合同指标要求，其中空腔精度优于0.125λ（1λ=632.8nm）。

3. 2015年开始600mm大口径激光平面干涉仪的市场化，首台商用仪器客户现场验收空腔精度优于0.1λ，达到了国外同类大口径干涉仪产品的技术水平。

4. 2016年11月，公司主研发的600mm大口径激光平面干涉仪亮相国家会展中心（上海）举办的第18届中国国际工业博览会，获得了工业博览会2016年度CIDI工业设计创新奖的金奖。

5. 2017年3月，首次600mm干涉仪空腔（200mm短腔）配修精度优于λ/12。

6. 2017年3月，恒益公司联合上海光机所检测中心启动800mm口径干涉仪研制。