恒益公司“基于六轴串联机构的机器人柔性抛光装备”研制取得重要进展

      上海恒益光学精密机械有限公司联合上海光机所光学中心通过持续的技术攻关，近期在“基于六轴串联机构的机器人柔性抛光装备”研制及加工工艺上取得重要进展。该装备能够确定性的实现大口径光学元件的全口径、高精度快速收敛，其中大口径绝对检测干涉仪标准镜（有效口径589mm）经过两次迭代加工（加工时间80min+45min），加工精度由原始面形PV=0.293λ稳定收敛至PV=0.046λ（λ=632.8nm），加工结果如图所示，获得了用户单位的高度评价。

   “基于六轴串联机构的机器人柔性抛光装备”是恒益公司和上海光机所光学中心联合自主部署的、以先进的可变去除函数理论为基础，以自研的可控柔性抛光小工具为载体的新一代数控抛光装置（发明专利申请号：2019111792191；软件著作登记号：2019SR0110580），具有高稳定性、高灵活性、高收敛性的特点，是恒益公司继传统小磨头抛光、磁流变抛光之后的又一高精度子孔径抛光装备，有效提升了恒益公司的光学超精密制造能力。

图1  大口径绝对检测干涉仪反射标准镜加工结果： a）原始加工面形（PV=0.239λ）；b）加工后面形旋转测量结果（0° PV=0.087λ，90° PV=0.086λ，180° PV=0.093λ）；c）去除系统误差结果（PV=0.046λ）

　 “基于六轴串联机构的机器人柔性抛光装备”研制成功，为上海恒益公司及上海光机所光学中心培养了一支具有战斗力的光学设备研发和工艺研究的队伍，为公司占领光学元件超精密制造战略高地奠定了坚实基础。